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集成電路製造技術

作者:張亞非、段力

字數:639

頁數:639

版次:

定價:88

ISBN:978-7-313-18651-5

出版日期:2018/10

圖書簡介

本書主要講述集成電路與微納製造工藝技術，既有基本原理和工藝技術的闡述，也有國內外近期發展狀況的介紹🚴🏻🧗‍♀️。本書把集成電路的工藝技術分類為圖形化（光刻）💛🤜🏼、加法（薄膜的技術）、減法（刻蝕技術）🏃🏻‍♀️、乘除法（離子註入、silicide）及其集成電路工程學（良率🍮、可靠性）和集成電路後勤工作（超凈間🪫、IC衍生產業鏈）幾大類，便於學生掌握、記憶和類推。 本書可作為高等院校微電子學和半導體專業本科生的教材，也可供有關專業本科生🫴🏻、研究生及工程技術人員閱讀參考。
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